PRODUCT
—— 產品中心 ——
電子級三甲基鋁(TMA)
一、分子式：Al(CH3)3
二、分子量：72.09
三、理化性質：
無色透明液體，熔點15℃，沸點127℃，密度0.752g/mL。在空氣中瞬間就能著火自燃，與具有活性氫的醇、酸及水劇烈反應。與己烷、庚烷等脂肪烴及甲苯、二甲苯等芳香烴以任意比例混溶。
四、用途:
在光伏領域用于PECVD或ALD沉積Al2O3鈍化膜；在半導體制造，用于沉積High-k材料介質薄膜，如Al2O3；同時，TMA還是有機金屬化學氣相沉積法（MOCVD）制造含鋁半導體（如AlAs, AlN, AlP, AlSb, AlGaAs, AlInGaAs, AlInGaP, AlGaN, AlInGaN, AlInGaNP等）中有機金屬的重要來源。
五、質量指標：
|
分析項目 |
技術指標 |
分析項目 |
技術指標 |
||
|
5N |
6N |
5N |
6N |
||
|
銀（Ag），max |
0.4 ppm |
10 ppb |
鋰（Li），max |
0.1 ppm |
5 ppb |
|
砷（As），max |
0.5 ppm |
10 ppb |
鎂（Mg），max |
0.05 ppm |
10 ppb |
|
硼（B），max |
0.4 ppm |
10 ppb |
錳（Mn），max |
0.05 ppm |
10 ppb |
|
鋇（Ba），max |
0.1 ppm |
10 ppb |
鈉（Na），max |
0.5 ppm |
20 ppb |
|
鈹（Be），max |
0.2 ppm |
5 ppb |
鎳（Ni），max |
0.4 ppm |
20 ppb |
|
鉍（Bi），max |
0.2 ppm |
5 ppb |
鉛（Pb），max |
1 ppm |
10 ppb |
|
鈣（Ca），max |
0.1 ppm |
10 ppb |
硒（Se），max |
1 ppm |
10 ppb |
|
鎘（Cd），max |
0.1 ppm |
10 ppb |
硅（Si），max |
1 ppm |
20 ppb |
|
鈷（Co），max |
0.1 ppm |
10 ppb |
錫（Sn），max |
0.1 ppm |
10 ppb |
|
鉻（Cr），max |
0.1 ppm |
20 ppb |
碲（Te），max |
0.1 ppm |
10 ppb |
|
銅（Cu），max |
0.15 ppm |
20 ppb |
鈦（Ti），max |
0.1 ppm |
50 ppb |
|
鐵（Fe），max |
0.1 ppm |
50 ppb |
釩（V），max |
0.2 ppm |
50 ppb |
|
鎵（Ga），max |
0.2 ppm |
50 ppb |
鋅（Zn），max |
0.2 ppm |
50 ppb |
|
鍺（Ge），max |
0.1 ppm |
50 ppb |
鋯（Zr），max |
0.2 ppm |
50 ppb |
|
汞（Hg），max |
0.1 ppm |
10 ppb |
有效期 |
36個月 |
36個月 |
|
鉀（K），max |
1 ppm |
10 ppb |
/ |
||
六、包裝：
罐子： 材質：不銹鋼316L ，罐內電解拋光。閥門類型：四分之一英寸隔膜閥。
閥門：主體材料：不銹鋼316L。連接尺寸：四分之一英寸VCR。
規格：14.2kg、72kg、300kg等
