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硼磷硅玻璃材料
產品描述
參數
BPSG材料是有機磷、硼化合物，包括：
TMB/TMP/TMPO/TEB/TEPO
性質：均為無色有刺激性氣味的液體。
應用：用于晶圓制造過程中與TEOS混合，通過CVD工藝沉積:PSG（磷玻璃）及BPSG（硼磷硅玻璃）。
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電子級三甲基鋁(TMA)
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正硅酸四乙酯(TEOS)
