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正硅酸四乙酯(TEOS)
一、分子式：Si(C2H5O)4
二、分子量：208.33
三、理化性質
無色透明液體，熔點－77℃，沸點169℃，密度0.9346g/mL。它對空氣較穩定；微溶于水，在純水中水解緩慢；在酸或堿的存在下能加速水解作用。
四、用途
主要用于晶圓制造過程中的化學氣相沉積（CVD）制程，用于生成二氧化硅薄膜。是半導體、分立器件、微機電系統（MEMS）制造所需的電子化學品。是硅烷及其他易燃硅源的替代品。
五、質量指標
分析項目 |
技術指標 |
技術指標 |
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8N |
9N |
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純度，min |
99.999999% |
99.9999999% |
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主含量，min |
99.99% |
99.99% |
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硼，max |
0.5 ppb |
0.5 ppb |
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Cl-，max |
0.5 ppm |
0.05 ppm |
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水分，max |
5 ppm |
5 ppm |
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乙醇含量，max |
3 ppm |
3 ppm |
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顆粒數≥0.1μm，max |
50 p/ml |
50 p/ml |
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顆粒數≥0.2μm，max |
30 p/ml |
10 p/ml |
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顆粒數≥0.3μm，max |
20 p/ml |
7 p/ml |
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顆粒數≥0.5μm，max |
10 p/ml |
5 p/ml |
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顆粒數≥1.0μm，max |
3 p/ml |
1 p/ml |
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色度，max |
10 APHA |
10 APHA |
六、包裝
容器：不銹鋼瓶
外包裝：不銹鋼箱柜
規格：2加侖、5加侖（19L）、10加侖、1.5L、3.0L、200L。
