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電子級亞磷酸三甲酯(TMP)
產品描述
參數
一、分子式:P(OCH3)3
二、分子量:124.08
三、理化性質
無色液體，有刺激性臭味，熔點-78℃，沸點111～112℃，密度1.05g/mL。易燃，不溶于水。遇水緩慢分解為磷酸和甲醇。
四、用途
主要用于晶圓制造過程中沉積生成磷硅酸玻璃（PSG）和硼磷硅酸玻璃（BPSG）的磷源。是半導體、微機電系統（MEMS）制造所需的重要電子化學品。
五、質量指標
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分析項目 |
技術指標 |
技術指標 |
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8.5N |
9N |
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純度，min |
99.9999995% |
99.9999999% |
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B ，max |
50 ppb |
50 ppb |
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Cl-，max |
50 ppb |
50 ppb |
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水分，max |
25 ppm |
25 ppm |
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顆粒數≥0.2μm，max |
10 p/ml |
10 p/ml |
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顆粒數≥0.3μm，max |
7 p/ml |
7 p/ml |
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顆粒數≥0.5μm，max |
5 p/ml |
5 p/ml |
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顆粒數≥1.0μm，max |
1 p/ml |
1 p/ml |
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主含量，min |
99.99% |
99.99% |
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色度，max |
5APHA |
5APHA |
六、包裝
容器：不銹鋼瓶
外包裝：不銹鋼箱柜
規格： 1.5L、2加侖、5加侖（19L）、10加侖。
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